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太贵了, 台积电不买新EUV光刻机? 但ASML找到了新买家

之前的旧EUV光刻机,其NA=0.33,也称之为LOW NA EUV,用于制造7nm以下芯片,其分辨率是13nm,理论上可以制造7-2nm的芯片

后来ASML推出了HIGH NA EUV,也就是NA=0.55的EUV光刻机,NA从0.33提升了40%,变成了0.55,分辨率提升至了8nm,理论上可以用于2nm及后续芯片的制造。

而相比于NA=0.33的EUV,High na euv的价格贵了很多,从曾经的10亿元人民币,变成了30亿元。

所以台积电表示,2nm时肯定不买,甚至说1.4nm时,也应该也不会买,台积电会想办法进行多重曝光,用LOW NA EUV,也能制造出1.4nm芯片来。

为何台积电不买账?就是因为太贵了啊,30亿一台,台积电现有EUV光刻机上百台,如果全换成新的,需要3000多亿,这怎么玩?所以台积电要用旧的光刻机,想办法解决技术问题。

而一旦台积电不买单,ASML也就有点慌,因为大客户不要了,这光刻机卖给谁?

所以ASML自从HIGH NA EUV推出以来,就一直努力的找买家,比如之前卖给了英特尔几台,但英特尔也不要太多。

近日,ASML终于找到了大买家,那就是存储芯片厂商,比如SK海力士、三星。

ASML已经交付给了SK海力士一台Twinscan NXE:5200B,这是NA=0.55的高数值孔径 EUV 光刻系统,用于SK海力士制造DRAM HBM等芯片。

另外ASML也交付给了三星EXE:5000 High-NA EUV,不是用于2nm芯片制造,也是用于内存芯片,以及HBM这些。

ASML预计,接下来随着DRAM的高速发展,特别是HBM的高速发展,存储芯片厂商有更高的工艺要求,所以HIGH NA EUV可能会被存储芯片厂商,大规模采购。

那么ASML的业绩,就不会因为新的EUV光刻机没人买而受到影响了,反而会因为HIGH NA EUV的热销,而业绩大涨。